晶圓測(cè)試高低溫真空探針臺(tái)

產(chǎn)品型號(hào)：HCVP系列

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

所在地：北京市

更新日期：2026-02-13

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

華測(cè)儀器HCVP系列晶圓測(cè)試高低溫真空探針臺(tái)

價(jià)格僅供參考，如需獲取更詳盡的產(chǎn)品技術(shù)規(guī)格書、定制方案或應(yīng)用案例，歡迎致電我司技術(shù)工程師

HCVP系列晶圓測(cè)試高低溫真空探針臺(tái)由華測(cè)儀器生產(chǎn)，是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)(chuck)上，在顯微鏡配合下，X-Y移動(dòng)器件，找到需要探測(cè)的位置，接下來通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針(射頻或直流探針)，準(zhǔn)確扎到被測(cè)點(diǎn)，從而使其訊,號(hào)線與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通，通過測(cè)試機(jī)可以得到所需要的電性能參數(shù)。

產(chǎn)品參數(shù)

腔體

樣品臺(tái)尺寸：2英寸 / 4英寸 / 6英寸

樣品固定：彈簧壓片

觀察窗口：2英寸 / 4英寸 / 6英寸

真空度：10^-6torr

探針臂接口：至多6個(gè)探針臂接口

其它接口：信號(hào)接口、真空接口、光纖接口、冷源接口

制冷方式：液氮/液氦 / 制冷機(jī)

控制方式：開循環(huán)手動(dòng) / 閉循環(huán)自動(dòng)控制

溫度范圍：77K ~ 450K / 4.5K~450K

溫度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K

穩(wěn)定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K

顯微鏡

X-Y-Z 移動(dòng)行程：50mm×25mm×13mm

結(jié)構(gòu)：外置探針臂，真空波紋管結(jié)構(gòu)

移動(dòng)精度：10μm  /  1μm

光源：外置LED環(huán)形光源 / 同軸光源

CCD：200萬像素 / 500萬像素 / 1200萬像素